電磁波の干渉を用いて位相差を測定し、波長より短い光路差や波長自体を高精度で測定する装置。天文学では、光路差の測定から電磁波の到来方向を精密測定する装置として用いられることが多い。電波干渉計、マイケルソン干渉計、スペックル干渉計、ナル干渉計を参照。